二手 KOKUSAI Quixace II ALD #293758335 待售

KOKUSAI Quixace II ALD
ID: 293758335
Vertical furnace.
KOKUSAI Quixace II ALD是为满足半导体制造业苛刻需求而设计的尖端扩散炉及配件。这一创新工具采用了先进的原子层沉积(ALD)技术,提供了卓越的精度和对沉积过程的控制。Quixace II ALD设备为沉积具有高均匀性和可重复性的薄膜提供了一个通用平台,使其成为制造先进半导体器件的必要工具。KOKUSAI Quixace II ALD系统的关键特性之一是高温处理能力。炉子配有精密的加热装置,可精确控制高达1200摄氏度的温度。这种高温范围使得包括氧化物、氮化物和金属在内的多种薄膜材料能够沉积,具有优异的薄膜质量和均匀性。除了高温处理能力外,Quixace II ALD机还提供了一系列的沉积模式,以适应不同的材料要求。该工具可以在热ALD和等离子体增强ALD模式下运行,允许沉积具有不同性质和特性的薄膜。资产的灵活性使其非常适合各种半导体应用,从逻辑和内存设备到电力电子和光电子。KOKUSAI Quixace II ALD型号设计为易于使用和高吞吐量,具有自动化流程和高级监控功能。设备配备了用户友好界面,使操作员能够轻松编程沉积配方,实时监控工艺参数,分析工艺数据进行质量控制和优化。系统内置的高度自动化降低了人为错误的风险,并确保了一致和可靠的沉积结果。此外,Quixace II ALD单元还配备了一系列配件和选件,以增强其性能和多功能性。该机可以用不同的前体输送系统、气流控制器和基板处理系统进行定制,以满足特定的工艺要求。该工具还具有先进的现场监测技术,如光谱椭圆偏振和石英晶体微平衡,以提供膜厚度、成分和其他关键参数的实时反馈。总体而言,KOKUSAI Quixace II ALD资产代表了寻求实现精确和均匀薄膜沉积的半导体制造商的最新解决方桉。凭借其先进的技术、高温处理能力和用户友好的界面,Quixace II ALD模型为各种半导体应用提供了无与伦比的薄膜沉积控制和灵活性。
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