二手 KOKUSAI Quixace II Doped Poly #9172063 待售
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ID: 9172063
晶圆大小: 12"
优质的: 2014
Vertical LPCVD furnaces, 12"
Software version: CX5000 (OU Ver.1.50.01)
Loader configuration:
(5) Loaders
System configuration:
Furnace unit:
(1) Cartridge heater
(5) T/C for heater control
(1) T/C for sub heater control
(5) T/Cs for over temperature protection
(1) 5-P T/C for cascade control
(1) 1-P T/C for profile control
(1) Thyristor unit for control
Clean unit:
(4) Clean module units
Controller:
Main controller (OU)
Main operation unit
Sub operation unit
Process module controller
(2) DDC Temperature controllers
(2) Gate drive units
MFC / Pressure unit
FOUP Loader controller unit
Wafer handling controller unit
Valve / Interlock control unit
Switching unit
Signal tower: Front
(2) Gas flow pattern panels
EDA Controller
EDA Operation unit
Drive mechanisms:
I/O Shutter
AGV / PGV / OHT Stage
FOUP Loader
Rotation FOUP storage
FOUP Opener
(2) Wafer detections
Wafer transfer
Variable wafer pitch converter
Boat elevator
Boat changer
Furnace port shutter
Boat rotation
Wafer transfer crash detector
Gas system:
Gas unit (IGS)
Exhaust system:
Dry pump
Mechanical booster pump
Diaphragm sensor: 1000 Torr
Diaphragm sensor: 2 Torr
Main valve
Exhaust piping
Exhaust dilution line
Reactor tube press leak line
Back ground line
Jacket heater for exhaust pipe
Seal cap heater
Inlet flange heater
Inlet port heater
Safety:
Light curtain system
Other:
(2) OHT I / F Unit
(1) Gateway-HSMS
(2) RF ID Readers
(2) Antennas
(2) Cantees
(2) Chemical filters
N2 Purge load lock system
O2 Monitor / Detector
FOUP Opener N2 purge system
Loading area MFC
Loading area N2 purge line
FOUP Opener N2 purge line
System power rating: 480 AC, 3 phase
Currently installed
2014 vintag
KOKUSAI Quixace II Doped Poly是一款高科技扩散炉及配件设备，设计用于生产一致、可靠的最新半导体器件技术。该系统包括一个400毫米多区管炉、基板加热器、燃气箱准备站、真空处理氨泄漏检测器，以及多个带有输送线路的燃气箱。该炉采用耐热耐腐蚀不锈钢结构，机械结构简单高效，是追求经济、质量、效率的客户的理想选择。多区管炉具有8区热控制单元，具有独立的精确温度控制、均匀的温度分布和精确的热循环过程控制。炉管采用双层石英涂层，热效率极高。管端装有专用喷嘴，防止翘曲和损坏易碎部件。该管还配有石英窗，可直接查看管内，内置过滤器，防止灰尘和其他颗粒污染。基板加热器设计用于将Quixace II掺杂聚合物加热至2000 °C。设备尺寸小巧,安装时间最少。它带有两个独立控制的热级和一个高性能风扇，用于均匀、一致的空气在基板上流动，以实现均匀加热。煤气箱准备站的建造是为了满足最严格的半导体制造环境的需要。它配备了一个储氮瓶，两条独立的气线，一个方便的CGA连接端口，以及一个简单的控制接口。氮气瓶不仅可用于维持基材制造过程所需的氮气流量，还可在发生意外电力中断时作为故障安全的备用供应。真空处理氨泄漏检测器是一种高效可靠的电流表机器，用于检测有害氨蒸气。通过最多三个独立的通道以及内置的控制和充气工具,此探测器可让您在高达10 ppm的可调范围内轻松检测和报警潜在的氨释放。KOKUSAI Quixace II Doped Poly是满足先进半导体生产需求的最佳解决方桉。凭借其最先进的功能和强大的设计,此资产提供了一个可靠的平台,可确保高效的过程吞吐量和制造产品的质量。
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