二手 KOKUSAI Quixace II Nitride #9351040 待售

KOKUSAI Quixace II Nitride
ID: 9351040
晶圆大小: 12"
Vertical LPCVD Furnace, 12".
KOKUSAI Quixace II氮化物扩散炉是一种先进的设备,旨在提供广泛的退火和氧氮化工艺。它是Quixace系列熔炉的最新一代,不仅提供可靠的性能,而且提高了温度均匀性和工艺重复性。该系统适用于各种应用,从一般表面涂层到汽车和航空航天部件的氮化。炉子装有低温活化阴极,允许超精密的氧气控制,电感应机械配重,提供均匀的气流,以及高效的气体扩散器。该单元还配备了控制氮化物深度的微调支架、特别设计的水套、高性能真空闸阀等附加功能。所有这些成分协同工作,为精确高效的氮化物扩散创造了理想的环境。炉子的温度范围从500 °C延伸到1100 °C,最高温度设置在1150°C,作为安全防范措施。该机还可以安装额外的气体面板和更高功率的助推器,从而提高热稳定性和整个过程的均匀性。Quixace II氮化物扩散炉还配有可编程逻辑控制器(PLC),能够进行精确和可重复的温度控制,以及能够根据工艺要求调整炉的设置。此外,该工具的设计便于安装和维护,因为它是预先布线的,并配有用户友好的PLC控制面板。为了最大限度地提高效率,该资产还设计了高效的热回收模型。这允许精确的温度控制和均匀的冷却时间,这有助于提高过程的重复性和一致性。此外,为了确保设备的均匀性,燃烧室设计有一个自动平衡装置,这有助于持续保持炉内的均匀温度。总之,KOKUSAI Quixace II Nitride是一种功能强大、用户友好的扩散炉系统,专为各种高质量的氮化工艺而设计。通过使用先进的部件和精确的控制,该装置确保了高效可靠的过程,提高了温度均匀性和可重复性。
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