二手 KOKUSAI Quixace II #9027427 待售
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ID: 9027427
晶圆大小: 12"
Vertical furnace, 12"
Single tube
Product load size: 125
Rapid Heating / Cooling (RHC)
Boat rotation
SEMI S2-0200E compliance
Main and sub (rear) operation controllers
Main controller: CX5000
SEMI EDA capability
Dual boat 125 WLS
Integrated Gas System (IGS) type: Fujikin 1.125"
RHC1 upgrade
Quartzware (1st set)
Rear operation panel
(2) Hard gas pattern panels
HPM (toxic gas) interlock
POD ID reader (AdvanTag GATEWAY HSMS)
OHT capability
Exhaust APC
Boat rotation type: N2 purged rotation
Self gas cleaning
EEMS CX-9800 server capacity and license
Options:
Canister (BK1200) for TiCl4
Bubbler (VG600W).
KOKUSAI Quixace II是一种高科技扩散炉及其附件，设计用于对炉温参数进行精确控制。这种重型生产设备适用于广泛的工业过程，包括氧化物、氮化物和碳基板扩散过程。坚固的结构由坚固的钢架组成，工作温度范围最大可达1200 °C （2192 °F）。先进的PID温度控制器采用自调节调节系统，保证了热源的精确运动和温度的维护。KOKUSAI QUIXACE-II还提供与时间步长控制和实时温度监控一致的温度一致性,从而提高产品产量和精度。结合可选的石英计数器，炉子可以在加热或冷却模式下运行，从而实现更快的热循环。该炉采用电源供电，并配有紧急停止功能，以确保用户安全。机组设有两级磁性安全开关机构、压力控制压力开关、保持较低温度的冷却风扇以及安全均质热处理的防火门。为了方便起见,这个复杂的生产单元具有多种自动化功能.较大的内部容量提高了生产率,符合人体工程学的工作面使其易于管理扩散过程。Quixace II支持各种用于精确控制温度的材料，并具有具有高安全标准的自监控机器。先进的压力控制工具可以帮助节约能源，同时也降低成本。该资产是为最大安全和最高效率而设计的，是工业级扩散炉的理想选择。
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