二手 KOKUSAI Quixace II #9382771 待售
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ID: 9382771
晶圆大小: 12"
优质的: 2014
Vertical LPCVD furnace, 12"
Model name: DJ-1236-DF
Process: ALD SiO2
(2) Robotic FOUP loading stations
Precursors / Reagents / Catalyst: Pyridine, HCD, Water
Purge gas: Nitrogen
Cleaning gas: Nitrogen Tri-fluoride
DC Power supply: 24 VDC, ±15 VDC
(7) Boxes
Power box
Gas box
Source/Bubbler box
Bonnet
Heater
Refill stations
Tweezers
EDA Box and cover
Front end exhaust damper cover
Bridge includes SSR
Power cables included
Boat plates and screws
Heater upper doors
Water dead man panel
Manual
L/A Exhaust and elbow
Handy terminal
(5) Foreline cages
Gas box elbow
Foreline clamp box
Cable duct [L/A crossover]
Loose gas line and flex lines
RHC Exhaust duct and panels
BG Lines
RHC Metal flex duct
RHC Metal duct cover
Connecting duct
Tube flange
Exhaust pipe
Exhaust union
Injector heaters
RHC Damper packing
RHC Damper block
RHC Adiabatic blocks
Injector stand offs
TC Stand off
Flange clamp insulators
Heater insulators
(2) Fore line clamps
(2) Teflon cushions
Tweezers
Fore line clamp bolt
Teflon tube pins
Joint plate assembly
Axis fixing jig
Front body support jig
Utility support jig
Buffer rack support jig
Power sub-systems:
Vacuum gauges
Sensors
Compressed air valves
PLC I/O (Analog and digital)
Device net
Ethernet and MFC’s
Does not include:
Pump
Scrubber
Capacitance manometer
Precursor bottles or connecting lines
Missing parts:
QUARTZ Boat
Reactor
Adiabatic plate
Mounting nuts and bolts
Power supply:
480 VAC, 60 Hz, 300 A, 3 Phase
120 VAC, 60 Hz, 30 FA, Single phase
2014 vintage.
KOKUSAI Quixace II是一种创新的、高性能的扩散炉和设备，是作为专业级材料加工的一种经济高效可靠的解决方桉而开发的。这种高质量的火炉采用强大高效的电动机，可确保对各种材料进行快速高效的热处理。不锈钢结构和陶瓷绝缘系统在保持温度精度的同时最大限度地减少了热量损失，使得基材的加热均匀。该炉配有数字PLC和触摸友好型HMI，允许用户友好的操作和精确的温度控制。直观而强大的控制单元允许针对不同材料进行自定义温度编程,同时还可以快速调整和准确监控设置。此外，该炉还配备了实时故障保护机，在检测到异常温度或条件时提醒操作员。随附的冷却工具也是高效的，采用内置的低温和高温水平，旨在保护加工材料不因温度过高而损坏。专门设计的露天结构也大幅降低了炉内部件与露点相关的腐蚀。此外,KOKUSAI QUIXACE-II还提供各种配件,可轻松连接和拆卸,从而进一步定制资产。该室采用透明观察窗，石英玻璃模型可用于最高温度应用。各种绝缘配置可用于适应不同的操作,包括低热质量、高热质量和高氧化铝纤维选项。其他附件，如四点探头线束、水位感应、冷水净化装置也有。总之，Quixace II是寻求高性能、可靠、经济的扩散炉溶液的专业人士的理想选择。其高效的电源、直观的控制模式、卓越的冷却能力和一系列的配件，使其成为寻求最大效率和可靠性的加工材料的理想选择。
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