二手 KOKUSAI Quixace II #9382773 待售
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ID: 9382773
晶圆大小: 12"
优质的: 2014
Vertical LPCVD Furnace, 12"
Model: DJ-1206VN-DF
Process: Si3N4 / Multi
(2) FOUP Robotic loading stations
Precursors / Reagents / Catalyst: DCS, Ammonia, Water
Purge gas: Nitrogen
Cleaning gas: Nitrogen tri-fluoride
DC Power supply: 24 VDC, ±15 VDC
(6) Boxes
Gas
Power
Bonnet
Heater
Power sub-systems:
Vacuum gauges
Sensors
Compressed air valves
PLC I/O (Analog and digital)
Device net
Ethernet and MFC’s
Does not include:
QUARTZ Boat
Reactor
Adiabatic plate
Pump
scrubber
Associated components: Mounting nuts and bolts
Power supply:
480 VAC, 3 Phase, 60 Hz, 250 A
120 VAC, Single Phase, 60 Hz, 60 A
2014 vintage.
KOKUSAI Quixace II是一种扩散炉和配件，非常适合在一致的基础上生产优质部件。KOKUSAI QUIXACE-II旨在提供最大程度的工艺控制、可靠性和与各种材料的兼容性。Quixace II配备高效的散热系统，确保加热和冷却一致。利用高精度石英热电偶监测和控制加工温度，有助于保证工艺的均匀性。专门的控制系统确保记录和维护精确的温度分布,使其成为高性能应用程序和大批量生产要求的理想选择。QUIXACE-II扩散炉还拥有紧凑的占地面积，便于运输和安装。它能够在各种环境条件和各种潜在危险气体中运行。该炉还配备了集成气体控制系统，监测和调节扩散过程中气体流动的流量和组成。这样可以确保精确的扩散速率和精确的成分控制,从而提高生产率。此外，KOKUSAI Quixace II还配备了多种配件，如燃气箱和气体采样装置。最后，KOKUSAI QUIXACE-II包含了一套全面的安全功能，如三重锁盘柜和紧急停止按钮。这些特性确保了安全和有效的扩散过程，并防止有害气体和颗粒污染物释放到环境中。总体而言，Quixace II是一种多功能的扩散炉和附件，提供卓越的性能和可靠性。对于那些希望利用统一、高精度扩散过程和高批量生产要求的人来说,它是一个理想的解决方桉。
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