二手 KOKUSAI Quixace Ultimate #9121959 待售

KOKUSAI Quixace Ultimate是一款先进的扩散炉设备和配件，用于先进的半导体加工。该系统配备了高级热均匀性控制和加热元件，为生产晶片提供了最宽范围的温度设置。先进的工艺控制为掺杂、未掺杂或难以加工硅材料提供了可靠的晶圆均匀性。该单元具有优越的温度均匀性和加热元件，用于处理单晶、多晶、应变硅等各类材料。该机具有两个炉室：一个用于预厌氧化过程的大炉室和一个用于扩散植入物的多区炉室，温度设置范围很广，最高可达1100 °C。炉具提供先进的工艺性能，包括高通量和通量均匀性。该资产采用API气体控制模型进行密封，以实现高气流通过率，从而实现超短热循环。该设备还提供先进的温度反馈控制、精确的空间均匀性和工艺优化。该系统的另一个优点是在扩散过程中由于硅加热元件的紧密耐受性和没有隔热材料而产生的低热应力。使用先进的专有工艺软件对炉单元进行监控，为生产跟踪和质量控制提供实时流程监控。该软件还可用于工艺优化,以获得更高的产量和更好的工艺性能。Quixace Ultimate机器是半导体加工的理想选择，特别是对于先进的扩散炉加工。它旨在为许多类型的材料提供卓越的温度控制和增强的均匀性以及广泛的温度设置。KOKUSAI Quixace Ultimate工具具有先进的工艺控制、宽广的温度范围和高通量,是半导体生产的理想选择。