二手 KOKUSAI Quixace #293600391 待售

KOKUSAI Quixace是一种扩散炉及配件产品，用于研发、教育实验室和商业生产。它是一种晶圆级真空退火装置，适用于广泛的扩散过程，包括：氧化、氮化、热退火和干燥氧化。扩散炉由一个独特的退火室组成，能够维持高达1500 °C的温度。最多可使用3个腔室同时处理3个晶片。Quixace的石墨纤维增强塑料柜提供了一种高度可靠的绝缘材料，以确保有效散热。该炉采用78%铝、19%铜和3%铝箔制成的扩散反射器，确保热量和氧化过程均匀分布。反射器还屏蔽设备免受过程中产生的高温。确保最佳结果的其他特征包括气隙隔热板,可确保样品表面的温度均匀性± 3 C或更低。手动热控制和计时器都包含在设备中以监视过程。KOKUSAI Quixace还拥有有助于保持退火过程稳定的真空设备。它是一种多级旋转泵，将一个Roots-type Roots真空泵和一个扩散泵结合为一个封装。此系统有助于维持1 x 10-3至5 x 10-3 Torr的真空范围。此外，排气装置有助于控制过程中的氧含量，也有助于清除腔室中的气体。为了保持高质量的性能，机器中还集成了多个传感器。它由一个热电偶传感器、一个压力传感器和一个质量流量传感器组成，控制室内的温度、压力和流量。此外，该设备还配备了先进的安全工具，可确保退火过程的稳定性并防止任何损坏。Quixace是研发、教育实验室和商业生产的宝贵工具，因为它是可靠的，并提供有保证的结果。它在退火过程中提供一致的精度和稳定性，让用户得到精确的结果。