二手 KOKUSAI Vertron III / DJ-803V #9242184 待售
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ID: 9242184
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Vertical diffusion furnace, 8"
Oxide
Process: LPCVD ONO HTO
System controller: CX2001
SECS/GEM Communication: Load station
WIP Carrier storage, 8"
Wafer spacing: 5.5
Load size: 150 Slots
Boat rotation
Furnace:
Temperature controller: CQ1501A
(4) Zones
Heater type: Mid temp D4EX1048
Process temperature range : 600-625°
Flat zone length: 1200mm
Process tube material: Quartz
Wafer boat material: SIC
Tube seal configuration: O-Ring Seal (Viton)
Temperature control methodology: Closed loop (PID)
Thermocouple type: R
Process gases (LPCVD)
MFC: Z4400 / HORIBA STEC
Process gases: SiH4, HCL
Other gases: N2
Process pressure control system:
Vacuum pump: EDWARDS QDP80
Dry pump capacity: QMB 1200
Fore line size: 80
Pressure controller: CX1204
Pressure control methodology: Close loop (PID)
Process manometer
Pressure differential manometer
Pump manometer
Inline cold trap
Exhaust controller
BROOKS SMIF Loader
MIDAS Gas detector
Power supply:
Heater voltage: Single phase, 280 VAC, 42 K A/C
Controllers: Single phase, 100 VAC, 10K A/C
Clean unit: Single phase, 100 VAC, 10K A/C
No N2 purged loadlock
2000 vintage.
KOKUSAI Vertron III/ DJ-803V是一种扩散炉及配件，配有精密工程工艺的多种特性。它是一种热处理工具，旨在提高焊接、热处理、烧结、焊接、粘结等工艺的效率和精度。该DJ-803V的设计和制造采用了最新的技术进步。其机械运动和驱动系统的设计是为了减少用户疲劳和校正运动模式，以匹配所需的过程。扩散炉采用优质耐用材料制成，可用于要求苛刻的应用。该炉配有保持温度一致性的先进设计部件，恒定加热速率为0.1至20C/min，冷却速率为10至150C/min。还配备了先进的高精度传感器、先进的热监测以及自动温度控制器，以确保精确的温度控制。该DJ-803V还提高了高达0.01C的温度测量精度。扩散炉还配备了一系列附加配件，以提高功能性，如微操纵器、烧蚀探针、芯片升降机和接线机构。多用途腔室还能够进行多种工艺，从超细颗粒操作到等离子体聚合物膜生产。微操纵器可精确操作微观组件和部件，而烧蚀探头可用于有效标记和蚀刻材料。该DJ-803V还为用户提供安全功能。它拥有多个安全传感器，不断监控过程的安全性，并在任何温度超过操作极限时向用户提供报警信号。进一步配备了防火措施，如高温监测传感器、自动关机、防热损耗系统等。除了先进的特性外，KOKUSAI VERTRON III DJ-803V由于其设计良好的气流系统，确保整个腔室和工艺腔室的温度分布均匀，因此非常可靠。这有助于最大限度地延长扩散炉的使用寿命，并以最小的停机时间保持一致和可靠的性能。VertronIII/ DJ-803V具有多种特点，是一种完美的扩散炉，适用于需要严格温度控制和精度的应用。
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