二手 KOKUSAI Vertron III #9232523 待售

KOKUSAI Vertron III是扩散炉及其配件领域的领导者。它是晶圆制造工艺的先进且成本效益高的工具，如掺杂剂扩散、氧化物蚀刻、金属沉积等。该炉提供对流和辐射加热两种方法，在超高真空和惰性气体环境下可精确控制高达1000 °C的温度。利用先进的控制设备，可以快速高效地处理多个晶片。Vertron III具有模块化设计,允许多种配置,使其成为一个灵活且可定制的系统。核心部件扩散炉，用超厚的墙壁建造，用于均匀的加热和绝缘，并配有可调节的支撑架，以增加稳定性。其特殊的扩散室具有内置的旁通室和改进的冷却单元，以保证出色的温度均匀性。其他可用的附件包括带有集成温度传感器的升降机构,称为"升降台"、手动装载机、自动晶圆传输工具、开放式基座以及封闭式基座性能选项。KOKUSAI Vertron III的加热资产包括一个顶部对流加热器和两个独立的辐射加热器，可用于通过改进方向流的控制来调节热均匀性和增强空位扩散。该模型具有多达20个均匀稳定温度分布段。此外，其先进的安全措施包括监控炉温的高科技控制设备、数字安全报警器和可调节的手动安全阀。其内部压力调节壳体保证了工艺条件的精确控制和均匀性，同时炉容可与兼容的硬件和软件进行调节。简而言之，Vertron III是扩散炉及其配件的顶级产品，性能最佳，操作高效，安全性高。其先进的特性使其成为半导体行业的领先者，并为定制芯片和其他电子设备的生产提供了经济高效的解决方桉。