二手 KOKUSAI Vertron III #9242178 待售

KOKUSAI Vertron III是一种扩散炉及配件设备，能够快速准确的系统级膜沉积。它是一种灵活而强大的工具，为合金、复合或介电系统提供卓越的性能。结合广泛的配件，非常适合材料研究、制造和开发应用。其性能基于灵活的模块化设计,可确保其功能和功能的多功能性。它采用先进的高速直线进料装置，与工业标准石英玻璃管完全兼容。这样可以方便地进入炉子的复杂Crucible系统，这种系统提供了出色的均匀性和整个炉子温度分布的准确性。Crucible温度也可以直接从PC主面板进行编程，从而方便、精确地控制沉积速率和温度。Vertron III能够沉积精确度超过99.99%的合金，此外还有多种化合物和介电膜。其脉冲偏置源选项提供了无与伦比的精度和厚度控制，使得机器完美的薄膜沉积研究。为了进一步提高其可重复性和准确性，该工具采用了独特的脉冲ECP（电子回旋等离子体）定向控制资产。可选的集成泄漏检测模型允许准确检测和测量气体和蒸气，这对于沉积和蚀刻过程尤其重要。一种开放式结构的可编程逻辑控制器（PLC）设备通过使用微处理器管理炉子的所有功能，进一步提高了可靠性。为了促进可重复的流程周期,KOKUSAI Vertron III采用了先进的分布式控制系统（DCS）,使设备能够轻松快速地适应特定于客户或可编程的流程。该机器还具有实时的全位置镜像绘图工具,以确保一致的过程性能。最后，该资产与广泛的配件完全兼容，包括先进的石英模块、惰性大气室和其他先进的部件。这为用户提供了从外延沉积到化学气相沉积的各种扩散炉工艺。总体而言，VertronIII是一种由KOKUSAIelectric制造的高度先进和可靠的扩散炉及配件模型。其精确度、多功能性和与一系列配件的兼容性使其成为材料研究、开发和制造应用的完美工具。