二手 KOKUSAI Zestone-V(B) DJ-1205V #9353494 待售

KOKUSAI Zestone-V(B) DJ-1205V
ID: 9353494
晶圆大小: 12"
Vertical diffusion furnace, 12".
KOKUSAI Zesten-V (B)(DJ-1205V)是专门为电子硅片大批量生产而设计的扩散炉及配件。为炉膛排气带内的均匀温度分布提供了优越的温度均匀性和稳定性。Zesten-V (B)还具有高性能电阻加热元件,提供节能加热和快速热回收时间。它配备了可编程温度控制器和各种热力图,以改进过程控制。该炉内部尺寸为1290mm x 305mm,最高工作温度为400°C。它有一个小的脚印和设计,以方便地融入任何生产线。该装置设有装载臂和排气箱,为晶圆制备提供无尘环境。还有一个带有安全传感器的推顶自动操作门,便于装卸。该炉为安全而建造,具有过温防护、压力开关、紧急停止开关、静电防护等特点。Zesten-V (B)配备了所有必要的元件来完成稳定的温度分布,包括隔热陶瓷室衬里、水冷套、测量温度的热电偶,以及双点氙气保护。水冷套有助于保证晶片的温度控制均匀,以便高产。此外,其先进的气流系统还提供大容量的扩散供应和排气,提供恒定可靠的性能。Zeston-V (B)独特的多功能设计,其温度控制系统提供免维护的操作和卓越的精确度,包括多达八个传感器。它还具有用户友好的PC界面和Windows® 8.1/10软件,允许设置、数据分析和远程监控,以提高控制能力。而且由于高效的双壁绝缘,Zesten-V (B)提供了改进的节能。总而言之,KOKUSAI Zesten-V (B)(DJ-1205V)是高批量生产硅片的绝佳选择,为优越的工艺控制提供卓越的均匀性和稳定性。
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