二手 MRL 1024 #9952 待售

MRL 1024
製造商
MRL
模型
1024
ID: 9952
晶圆大小: 6"
Three stack diffusion furnace, 6" With cantilever loader.
MRL 1024是为一系列技术应用而设计的扩散炉。这种商业制造的产品包括加热室、真空室、样品支架、热梯度控制设备以及随附的配件。加热室由300型不锈钢製造,包含一个FE-B5-series加热器。它配有氮化物涂层,以保护内部免受因热循环而产生的腐蚀和磨损。样品支架由不锈钢焊条制成,设计用于支撑正在加工的材料。真空室是为降低扩散过程中产生的挥发性有机化合物(VOCs)和其他物质的水平而开发的专门设计。配备蝶阀、带法兰真空连接器、热电偶端口。蝶阀允许使用者在不交换大量空气的情况下将汽化化学物质引入系统。热梯度控制单元可准确调节样品持有者的温度。本机采用固态继电器和化学惰性陶瓷绝缘材料,保证加热和冷却均匀。该工具还具有防止材料过热的超调保护机制。随附的附件包括样品温度的计算机化读数、气体质量流量控制器、烟雾洗涤器和火花器。计算机化读数提供精确的温度读数和修改设定点的能力。气体质量流控制器允许用户在不浪费任何材料的情况下,准确调节反应物流入资产的流量。烟雾洗涤器的设计目的是减少扩散过程产生的排放,并使用火花将一股惰性气流送入腔室,以维持惰性大气。总体而言,1024是一种高效的扩散炉,设计用于各种先进的技术应用。专门的部件和附件提供了精确的温度控制和反应物的精确引入,以取得优异的效果。
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