二手 MRL Phoenix/Thermco 5200 #9210305 待售

MRL Phoenix/Thermco 5200
ID: 9210305
晶圆大小: 6"
LPCVD System, 6".
MRL Phoenix/Thermco 5200是一种扩散炉和配件,设计用于各种工业和实验室应用。它能够以极高的精度和精确度将样品加热到高温。5200使用热梯度和均匀的温度轮廓来确保可重复的结果。氮气气氛允许对材料进行控制和可靠的加工。该炉由石墨加热室和内径95毫米、工作深度100毫米的顶载石英管组成。MRL Phoenise/Thermco 5200还包括从环境到1700℃的电子控制温度,最大加热速率为150℃/min。温度通过使用热电偶和伺服电动机的闭环设备调节。该炉还包括一个数字阀门,用于调节氮气流入加热室的流量。数字阀门装有旋转螺线管和PID控制系统,以保持对氮气流动的精确控制。除了控制流量和温度,如果加热室内的压力大于氮气,阀门也用于防止回流。该炉配有两对10段可调护套热电偶,用于测量机组温度和电弧。光学高温计用于监测每个加热元件的温度,从而实现快速准确的温度读数。MRL Phoenise/Thermco 5200包括一个用户友好的液晶显示屏和一个自动数据存储机,方便高效的数据收集和管理。可以将数据导出为Excel或其他兼容格式以进行进一步分析和操作。MRL Phoenix/Thermco 5200是一种可靠高效的扩散炉,非常适合各种应用。炉子温度分布均匀,温度精度高,护套热电偶可调节,数位阀门,是实验室和工业用途的理想选择。
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