二手 MRL Phoenix #9076185 待售
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ID: 9076185
晶圆大小: 6"
LPCVD Furnace, 6"
(3) Tubes: Nitride LPCVD
(1) Tube: Poly LPCVD
Four tubes with semi-auto boat loader
Laminar flow and gas cabinet
High temperature element
40" Flat zone
Tube1: Nitride (SiH2Cl2, NH3,N2)
Tube2: Nitride (SiH2Cl2, NH3,N2)
Tube3: Nitride (SiH2Cl2, NH3,N2)
Tube4:Tisi.
MRL Phoenix是一种扩散炉和附件,设计用于在各种工业应用中提供可靠和精确的材料处理。该系统专门为气体和蒸气处理如扩散、氧化和表面生长而设计,可与一系列金属、陶瓷和聚合物一起使用。这种独特的熔炉具有强大的高温热源,最高可达1400 °C。它还包含一个直接的石英管大气输送系统,这确保了一个一致甚至扩散过程在整个内部组件。大气可以根据特定的过程量身定制,因为它可以针对氧气、氮气和氢气的特定水平量身定制。Phoenix提供了一种独特的简单负载设计,可以方便地从炉子外部取样。样品的所有必要装卸都是通过冷却机制完成的,在装卸之前和装卸过程中都要除去热量。内置的水冷结构和优越的绝缘系统使炉子非常高效稳定,而高性能、高精度的辐射控制器则保证了对过程的最大控制。此外,炉子的外部由坚固的不锈钢构成,具有优异的耐用性.扩散炉还有一系列光热传感器,帮助监测炉内温度,以获得准确可靠的数据读数。他们测量温度,防止过热,使炉子保持安全。该炉还与一系列标准配件兼容,可以使其更容易缩放和测试样品。附件包括要放入炉中的托盘和温度控制器,以防止其过热。总体而言,MRL Phoenix是一个前沿的扩散炉,在不同的行业有广泛的应用。其强大的热源、高精度高效的控制机制,以及质量的建设及其配件,使其成为各种工业需求的有效解决方桉。
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