二手 POLYFLOW EP-C05 #9014479 待售

POLYFLOW EP-C05是POLYFLOW公司生产的扩散炉及配件。它是专为半导体芯片制造而设计的。扩散炉设有高压热区，能够在高达1400 °C（2550 °F）的温度。这使其成为高长宽比（HAR）应用的理想选择,如掺杂、有效通道停止、垂直井剖面、华夫饼结构形成和选择性发射极剖面。这种设备允许对掺杂过程进行精确的温度和时间控制，从而产生质量优越、应力诱导缺陷较少的芯片。热区通过水冷墙和高压氨回路进行密封和冷却，使之能够快速熄火并防止大气污染造成污染。该炉还具有提高纯度、均匀度和产量的无氧环境。获得专利的氧气流传感器系统提供工艺参数的实时反馈，有助于消除工艺后的金属化缺陷。除了扩散炉，EP-C05还包括各种配件。第一个是RTP模块，由多个具有自动循环控制功能的镇静剂头组成。这确保了均匀的加热和冷却速率以及精确的温度控制，从而使晶圆掺杂更加准确可靠。二是先进的高度控制机构，使基板与晶圆保持精确、可调的距离，从而实现后续工艺步骤的精确均匀性。其他附件包括用于实时过程监控的集成Web摄像机单元、用于改进漂移控制和减少晶片对晶片变化的单独工具分区以及用于高效运行的各种晶片适配器。此外，该机利用稳定、低发射率的石英在扩散过程中具有优异的热稳定性。这些特性和附件使POLYFLOW EP-C05任何芯片制造应用的理想扩散炉。