二手 POLYFLOW S 620 #9114213 待售

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製造商
POLYFLOW
模型
S 620
ID: 9114213
晶圆大小: 8"
Omni-clean system, 8" FM4910 2002 vintage.
POLYFLOW S 620是一种扩散炉和附件,设计用于在微电子领域进行薄膜沉积和氧合过程。这是一项可靠和可靠的技术,它是为满足业界最高的要求而开发的,即高纯度、高吞吐量和经济高效的沉积过程。S 620主要设计用于保形金属膜,例如金或铜。它具有一个具有精确气动控制气氛的惰性腔室,确保在一个可重复的过程中最高质量的沉积。该室的结构还特别注意耐温要求和坚固的隔离,使整个设备部件的温度均匀。除此以外,POLYFLOW S 620拥有出色的防止系统加热的高频介质,需要很长的寿命才能翻新。S 620提供了许多优于竞争模式的优势。首先,它在任何给定的零件表面产生最高的薄膜沉积均匀性,从而降低了整体材料成本。此外,POLYFLOW S 620还配备了高级可编程逻辑控制器(PLC),可自动控制所有单元进程。由于其紧凑的设计,因此占用空间非常小。此外,这台机器还包括一系列高级配件选项,以提高工艺能力和精度,如高性能晶圆保持装置、真空过程运行工具以及校准和测量工具。S 620在安全性方面也表现出色。它具有非常低的氧气输送速率、低的排气水平和惰性环境,从而导致非常安全的操作环境,符合严格的行业安全标准。此外,POLYFLOW S 620还配备了一个独立的保护资产,在发生故障时,模型将关闭,而不会损害用户的安全。总之,S 620是微电子中金属扩散到零件上的理想溶液。其先进的性能特性使其成为高精度和经济高效的过程的理想选择,而其可靠可靠的安全措施则提供了最高级别的安全性。
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