二手 SEMITHERM / SEMITOOL VTP 1500 LH #9025672 待售
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ID: 9025672
LPCVD Reactor furnace
Control unit
Manual
Facility requirements:
Furnace: 150 Amps
Vacuum pump: 150 Amps
Nominal voltage: +/- 15%
Nominal frequency: +/- 5%
Exhaust:
Furnace cabinet exhaust: 10" Duct
Minimum pressure: (-.5 in) at 900 CFM
Gas cabinet: 6" Duct
Minimum pressure: (-.5 in.) at 250 CFM
Process chamber:
1/2" Swagelock:
Minimum pressure: (-.5 in.) at < 1 CFM
3/4" Swagelock
Minimum pressure: (-.5 in.) at 5 CFM
Vacuum:
Wafer handling: 1/4" Swagelock - 24" HG static
Cooling water:
Cannister and baseplate:
1/2" Swagelock - 2 GPM at 20 psi inlet to outlet differential pressure
Maximum differential pressure: 40 PSI
Maximum inlet pressure:100 PSI
Swagelock return line, 1/2"
Drains:
Acid drain (Optional on wet ox)
Teflon tubing: 1/2"
Clean dry compressed air:
1/2" Swagelock - 80 PSI Minimum
5 CFM: Typical
20 CFM: Peak (100 PSI Max)
5 CFM Used for pneumatic control
15 CFM Used for element / Jar movement
Nitrogen - non process:
1/2" Swagelock - 80 PSI Minimum
5 CFM: Typical
30 CFM: Peak (100 PSI Max)
5 CFM: Baseplate (Used at high temp only)
25 CFM: Furnace filter (Used only when filter or fan fails)
30 CFM: Non-process nitrogen
Power supply: 208 V, 3-Phase, 60/60 Hz, 150 A.
SEMITHERM/SEMITOOL VTP 1500 LH是一种扩散炉，配有较小零件的低炉膛设计和较大零件的大炉膛设计。它是大规模生产半导体晶片的理想选择。扩散炉采用多区温度控制设计，为用户提供了对热处理的精确控制。该设备具有集成的温度传感器,可提高每个区域的精度和可重复性。该系统还具有低温浸泡能力和先进的熔炉编程，两者都提供了最优的熔炉控制。此外,SEMITOOL VTP 1500 LH还包括几个附件,以提高用户的便利性。采用包括的铰接式和手动升降机系统使负载操作变得容易，可用于快速、安全地在炉内移动零件。水平对流风扇有助于确保适当的空气流通和整个炉子的均匀加热。用户还可以选择添加自动风扇快门单元、运动控制钟机、lehr和其他附件,以提高精度。这种耐用可靠的扩散炉还提供了几种安全特性，如压力工具、双壁腔室管道和重型门铰链。该资产的最高运行温度可达1400 °C，其加热元件由能承受极端温度的先进合金制成。现代的控制面板允许用户精确地管理所有炉子的设置和操作。总体而言，SEMITHERM VTP 1500LH是一种先进的扩散炉，非常适合大型半导体生产。其多区温度控制、集成温度传感器、低温浸泡能力，为用户提供了无与伦比的准确性和可重复性。该型号还具有铰接式和手动升降机系统、自动风扇快门设备、lehr等几个用户友好的功能。最后，其高质量的加热元件和安全特性使VTP 1500LH成为一种可靠、持久的扩散炉。
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