二手 SEMITHERM / SEMITOOL VTP 1500 #293760973 待售

ID: 293760973
Vertical furnace.
SEMITHERM/SEMITOOL VTP 1500是一种适合广泛应用的扩散炉及配件,如导电金属沉积、介电材料、介电钝化层、湿法化学蚀刻等。该设备具有无限制的加工室,具有方便、单手的盖子和门以及快速的加工时间,整个机室的热量分布均匀。它具有高效的温度调节、内置真空加工站和可调节的大气控制,能够对各种高、超高真空过程进行精确、可靠的控制。此外,它还配备了用于精确流量控制的高级模块化设计,并且还具有广泛的热处理功能,范围从600 °F到1500 °F。SEMITOOL VTP 1500利用碳化硅(SiC)或石墨加热元件达到1500 °F的最高温度和1.2 Torr的最大工作压力。该系统配备了可调真空和大气控制装置,允许对高真空和超高真空操作进行精确可靠的控制。该加工站内置在熔炉中,具有灵活、易于使用的温度控制和电涌保护电源模块。此外,该装置还配有内置的石英热室剖面工具,有助于监测温度,确保可靠的热稳定性。此外,SEMITHERM VTP1500最多可容纳四个加工室,所有这些室都衬有隔热材料,以限制各种材料的热接触。机器还有一个内置的热轮廓控制工具,确保整个腔室的温度分布准确且均匀。实验室的周围环境也不受特殊噪声和抑制振动的影响。炉子里有一个快速净化功能,可以在启动时快速净化气体。它还在整个炉子内提供± 1°C和± 3°C的温度均匀性。而且,为了更好地进行热保护,该资产配备了一个绝缘较重的不锈钢机柜,绝缘为8"至12"。SEMITHERM/SEMITOOL VTP1500还具有简单易用的程序和安全系统,以减少操作员疲劳。
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