二手 SEMITHERM / SEMITOOL VTP 1500 #9316770 待售

SEMITHERM/SEMITOOL VTP 1500扩散炉是为退火、重结晶和氧化等晶圆级热处理应用而设计的热处理设备。系统的目的是对设备进行指定的更改,以改善其电气、光学或机械性能。该单元采用模块化设计,可根据需要进行扩展。机器通常由控制器、电源、热处理器、加热组件和其他附件组成。控制器为编程和监控工具参数提供了一个用户友好的界面。电源调节加热组件使用的安装电源,并提供电线隔离功能。散热处理器包含一套高级算法,用于控制资产的温度分布,确保在该过程的所有点都达到正确的温度。加热部件包含专门设计的热电偶加热元件，可实现精确的温度控制和晶圆的均匀加热。SEMITOOL VTP 1500被设计为运行多个同时进程，允许多达八个不同的进程同时运行而不会中断。这对于大批量生产运行特别有用。它还有一个内置的热压模型，对晶片施加直接热量，不需要真空环境。这通过提高晶片对晶片的均匀性来减少循环时间。SEMITHERM VTP1500是市场上最先进的扩散系统之一，具有温度快速倾斜、温度控制高度精确、供暖选择范围广泛等特点。它的模块化设计和大量的附件使其非常适合各种应用的制造过程。其坚固的设计和高品质的部件使其成为可靠耐用的设备,为未来几年提供卓越的性能。