二手 SOLITEC VQC-200 #9246336 待售

SOLITEC VQC-200是一种扩散炉及其相关配件，旨在提供高纯度和非常高质量的半导体晶片。这对于高纯度晶片的生产和制造具有优异的电气、化学和光学性能是非常好的。该设备包括温度高达1350°C的真空控制环境以及扩散和快速热处理室。该室由高级不锈钢和石英涂层基板构成，用于均匀的热通量。扩散过程效率高，腔室可以轻松地快速装卸，以简化生产。VQC-200是为高产可靠操作而设计的，具有均匀且可重复的扩散参数。具有安全互锁开关、过温保护、短路保护等多种安全特点，是晶圆生产中的安全选择。此外，综合安全警报可以检测任何温度差异和故障和温度偏移的警报。该系统非常方便用户使用,并提供数据记录功能,以准确记录整个生产过程中的扩散参数,并便于进行审计。它甚至以通用CSV格式自动报告数据，并且可以上载到共享存储区域，或者简单地打印出来进行进一步处理。此外,分析器界面还提供灵活的配方定义和可视化的产品控制。该单元也极具能源效率，具有低噪声排放。其经过重新设计的空气冷却机实现了最佳的流量和平稳的温度调节。SOLITEC VQC-200还有一个可调氧化铝通道，可以微调加热和冷却过程，从而获得准确和可重复的扩散。最后，VQC-200是一种全自动工具，可以很容易地与其他扩散炉和相关工具集成。这进一步简化了扩散过程，大大降低了设置成本。总而言之，SOLITEC VQC-200是控制、高效、高纯度扩散的绝佳选择。