二手 SVG / THERMCO 5000 #9265354 待售

SVG / THERMCO 5000
ID: 9265354
晶圆大小: 6"
Diffusion furnaces, 6".
SVG/THERMCO 5000是用于制造半导体和MEMS器件的单井数字扩散炉及配件。此模型是经过验证的SVG 4000的改进,它提供了先进的功能和非常精确的温度控制,使其能够处理甚至精细的过程,而不会出现任何问题。该炉由三个主要部分组成:1.发电机,是一种高频信号发生器,允许基板的加热和冷却。2.炉膛,是炉子的主体,容纳基板。它被发电机加热到高达1,500 °C的各种温度。3.控制器,即用户与炉子交互的控制面板。该控制器允许对炉子进行精确控制,并容纳SVG 5000的可编程特性。THERMCO 5000最重要的特点之一就是使用可编程温度剖面。这些配置文件允许用户为其过程预先设定特定的温度周期,这意味着他们可以精确控制加热和冷却周期,以及整个过程所需的时间。此外,这款车型还具备多项先进的安全功能,如过热防护、自动联锁系统、紧急关闭开关等。5000配有各种配件和部件,可灵活、精确地控制基板。其中包括一个固体陶瓷心轴、温度探针,甚至还有一个石英预涂层船,用于硅晶片和诸如砷化氙或磷化铵等底物。这些配件为用户提供了定制和精确控制整个过程的能力。总体而言,SVG/THERMCO 5000是一种高质量、可靠的扩散炉和附件,可以在处理精细工艺的同时精确控制温度。它的可编程温度剖面和安全特性使其非常适合半导体和MEMS设备的制造和测试,而且其可用附件的范围允许用户定制其工艺。
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