二手 SVG / THERMCO 5100 #9265352 待售

SVG/THERMCO 5100是一种为提供超高纯度和精密炉性能而设计的扩散炉。它是进行可复制、紧密的过程均匀性和快速的过程周期的理想选择。SVG 5100具有屡获殊荣的设计,由七个区域组成,可单独控制或编程以完成晶圆处理。这七个区域的配置允许对各种大小的晶片进行扩散处理，从小晶片到包括大晶片。每个区域都配备了先进的可变热区，满足所有的需求，当涉及到一个过程配方。不同区域配有多个加热元件，可实时启动，确保产品循环快速准确加热。熔炉元件的电性能因区域而异，以适应不同的晶圆尺寸和加工条件。电气元件被精确控制，允许300°C至1,500°C的不同温度。这使得THERMCO 5100非常适合一系列过程，如反应退火、应力退火和晶圆中的杂质扩散。为了保证一个一致的、可重复的退火过程，5100配备了空气循环风扇和温度控制的窗口通风口。机器装有可编程计时器，允许用户设置每个工艺周期的温度和宽度。此外,用户可以从单个远程终端访问和监视整个过程。SVG/THERMCO 5100在与惰性大气（如氮气或氙气）结合使用时，使用户能够在整个过程中保持2°C均匀性的同时，实现极纯的扩散过程。SVG 5100还具有诸如工艺室、压力均衡配件和真空泵等一系列通道,可用于多种用途。THERMCO 5100设计具有卓越的安全性和性能,具有安全联锁和紧急关闭保护功能。此外，该炉还配备了一整套操作报警器，用于检测过程问题并防止该炉发生灾难性故障。总而言之，5100是一种用途特别广泛、可靠的扩散炉，它提供可靠的过程控制，具有卓越的安全特性。熔炉的模块化设计和先进特点为所有扩散过程要求提供了高效可靠的平台。