二手 SVG / THERMCO 5100 #9265353 待售

SVG/THERMCO 5100是由SVG，Inc.designed製造的扩散炉及配件，提供晶圆扩散过程的精确控制。这个工具是一个先进的实验室系统，用于研发（R&D）和高温扩散和退火过程。它是一种多区水平炉，具有多种特点，包括高温能力、精确的温度控制和多种配置。该水平炉由内绝缘壳、外壳结构、多区加热段组成。它还包括一个升空盖（LFC）和波纹管机构，用于有效的波纹管操作和出色的均匀性控制。LFC可确保低颗粒计数和均匀的工艺温度。SVG 5100配备了CRIUS数字控制器和可编程逻辑控制器（PLC），提供精确、实时的温度控制。CRIUS数字控制器允许设置和监测关键温度设置以及对炉子实际运行参数的实时读数。PLC提供了均匀性和重复数据的工艺调整，并确定了炉子所需的热剖面。该炉有一个加热区，包括两个红外石英元素，用于整个晶圆宽度的温度均匀性。它还具有保护元件,称为电气安全联锁,可防止意外损坏工具。最后，精密的温度控制模块进一步优化了整个加热区温度的均匀性。THERMCO 5100还具有旨在提高熔炉寿命的环境安全控制功能。惰性气体净化系统允许引入氮气、氙气、氢气、氦气或其他惰性气体，以提供有效的防止氧化和污染的保护。该系统可确保安全、清洁和过程可重复性的最高标准。THERMCO, Inc提供的这种价格合理、高效的高温扩散和退火工具非常适合为大容量应用（如半导体封装、MEMS和Nanochip集成）提供高度可接受的晶圆均匀性和准确性。其可靠的温度控制、优异的工艺重复性和环境安全特性，使5100成为研发实验室在质量和精度最受关注时的绝佳选择。