二手 SVG / THERMCO 5100 #9411905 待售

SVG/THERMCO 5100是一种扩散炉及附件设备，非常适合各种困难的热和化学加工应用。配备了令人印象深刻的一系列功能，SVG 5100可以可靠地最大限度地提高工艺效率，提高批量均匀性，减少周期时间。THERMCO 5100系统的主体由电源、泵和高真空室组成。电源安装在双门机柜中,可进行精确的温度控制,并提供精确的实时温度。这些泵位于主室内部，通过视口可见，提供了最大的可靠性，并确保达到所需的工艺参数。在腔内可以安装一个额外的泵站，因此用户最多可以有三组泵。因此，5100在整个室内显示出极好的温度均匀性。SVG/THERMCO 5100 Unit还提供许多高级配件,以提高性能和简化流程。例如，它有多种模块化晶片载波，可以快速、安全地装卸晶片。它还有多个真空控制选项，包括手动调节阀和自动控制器，以及如果需要的惰性大气控制机。最后，一个可选的独立电源的石英灯架可用，因此可以在腔室内部安装灯来查看晶圆处理。结合这些特点，使SVG 5100成为可靠高效的扩散炉及配件工具。它提供精确的温度控制，其晶片载体、真空控制选项和支持的附件允许用户根据自己的特定需求定制其资产。这反过来又导致了更高的吞吐量和更可靠的结果。