二手 SVG / THERMCO 5200 #9250085 待售

SVG/THERMCO 5200扩散炉是一种高效可靠的工具，用于制造厚度精确均匀的晶片。这种全自动炉提供各种配件定制晶圆生产过程，使你的生产要求得到最大精度和精确度。SVG 5200是一种单区炉,具有先进的区域温度控制系统,为化学气相沉积（CVD）和化学机械平面化（CMP）工艺提供了理想的气氛。该炉可达到1000C的温度，在整个区域保持均匀和稳定的温度。为了获得最高精度，THERMCO 5200配备了一个用于连续监测的光学石英窗口，以及一个气体流动探测器系统，在生产新晶片时确保了最佳纯度和可追踪性。5200也是高度可配置的，允许用户调整多个进程参数。通过改变气体流动或退火气氛的压力，用户能够在晶片中达到所需的厚度和光学特性。为了保持SVG/THERMCO 5200的高温均匀性，炉子装有主动水冷扩散衬里。通过在整个退火区提供一致、稳定的温度，班轮有助于确保最佳效果。对于更低的热梯度,还可以安装可选的石墨绝缘盖。除了温度控制外，SVG 5200还具有先进的工艺控制能力，如压力监测、外部气体控制、氧气消耗控制等。这可确保用户能够严格控制其流程,同时降低其受到污染或其他生产缺陷的风险。THERMCO 5200兼容全阵列配件，包括石英敏感器、石英提升销和可移动石墨夹具。5200扩散炉为生产优质、均匀的晶片提供了高效可靠的退火解决方桉。凭借其顶级的温度调节系统，用户可以放心，知道他们的晶片将以最高的精度和精确度生产。SVG/THERMCO 5200具有多种配置选项和众多可选附件,为成功的晶圆生产过程提供了所需的多功能性和优化。