二手 SVG / THERMCO / AVIZA 5000 #9195863 待售

SVG/THERMCO/AVIZA 5000是用于半导体制造的高性能扩散炉及配件。该炉设计用于控制扩散、退火和氧化过程。它具有先进的炉子设计和加工灵活性，能够在整个热质量中实现精确的温度控制和出色的温度均匀性。其先进的双室结构，带有加热的方坯传递室，提供了最大的绝缘和热环境的控制以及优越的工艺均匀性。SVGTSVG 5000装有一个高性能的磁感器，由一个单一的crucible插件和Isothermal Jacket所包围，允许精确的温度控制和减少热污垢。该炉包括自动化和手动抽水系统、电子控制惰性气体以及先进的温度和压力监测能力。该炉还配备了5区可编程加热器，可精确控制高达2000 °C的温度。加热区分为三个内部区域和两个外部区域，提供了最优的温度均匀性和控制以及减小的梯度。独立可调、可编程的内区设计，以减少热传递时间，产生更一致的性能。该炉还包括一系列附加的工艺功能，如先进的安全监控和报警能力，包括PID温度控制和过温保护。此外，该炉还包括一个氧气净化/还原系统，能够有效控制氧化过程。为确保可重复的性能和一致、可靠的结果，该炉采用先进的绝缘和冷却系统。该结构采用环氧树脂填充的双模块化绝缘室和集成PCR冷却系统，在整个热质量中提供均匀的冷却。保温材料在工艺室内提供了更好的温度均匀性和高效的冷却,有助于确保即使在最高温度设置下也可重现该工艺的性能。该炉易于使用,具有大型触摸屏界面,可提供一系列高级流程功能、直观的编程和控制、自动晶圆处理系统以及在线监控和诊断。用户界面专为易于使用而设计,具有直观的控件和显示屏,可轻松创建、监控和调整配方。该炉专为要求苛刻的生产和研究应用而设计，提供快速、可重复和可靠的性能。