二手 SVG / THERMCO / AVIZA 5200 #9225999 待售

SVG/THERMCO/AVIZA 5200扩散炉是一种坚固、可靠、用途广泛的扩散炉，旨在提供多年不间断、卓越的扩散处理性能。SVG 5200可在扩散的所有阶段提供精确的温度控制,提高工艺产量。AVIZA 5200配备了独一无二的专利立式钢架热区，可同时处理多达四个800毫米²晶圆载波。这种创新的设计允许大规模生产，从而带来更快的周转时间。该炉还包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）套件，产生优质、低缺陷的扩散层，进一步提高产量。该炉具有很高的柔韧性，能够容纳各种晶圆尺寸，直径可达25毫米。此功能允许操作员达到更高的吞吐量,而无需传输晶圆或调整设置。用户友好的控制器可确保设置和参数能够直观准确地输入和维护,只需操作人员进行最少的干预。为确保最大安全,5200扩散炉配备了多种安全功能,如故障保险箱、开盖检测和安全系统。它还提供出色的热性能和环境保护,在热区保持温度精度± 1 °C,在冷区保持温度精度± 0.1°C。THERMCO 5200扩散炉的其他特点包括：多程序存储和召回、可配置配方、手动或自动操作、多加热速率选项以及系统监控软件。该炉的设计旨在确保用户以其尖端的设计、卓越的材料和无与伦比的工程技术获得最高质量的结果。