二手 SVG / THERMCO / AVIZA 5204 #9043980 待售

SVG/THERMCO/AVIZA 5204是半导体工业晶圆加工应用的理想扩散炉及附件设备。该系统提供了最佳的温度控制和均匀性，以达到最佳的设备性能。腔室尺寸为375x350x250 mm，腔室最高可达1150 °C的温度。SVG 5204具有定制的晶片加载单元和内部卡带到卡带传输机。内侧温度传感器可确保精度并控制温度曲线。径向扩散时间设置简单,具有广泛的可重复性.其他功能包括Precision Swing Arm Load Lock （PAL）腔室、高级陶瓷面板、固态功率控制电路以及使用AutoTune工具的PID控制。AVIZA 5204的加热元件是接地电阻元件，每元件电阻为1欧姆。这样可以确保室内温度分布均匀。整个过程的温度控制准确一致。在加热元件和腔室之间还有一个独立的隔热罩，以提高安全性和温度精度。该扩散炉还具有气体分布喷嘴，用于均匀气体流动。它有一个用于气体回路的不锈钢波纹管，以及一个用于排气风扇的单独开/关开关。可以根据所需的速率调整风扇,以达到最大效率。板载计算机还监视和记录所有数据,以确保控制和可追踪性。此外，5204配件包括石墨敏感器、高温动态工艺电缆、高温工艺线法兰、低温侵略性工艺线塞。每个配件在炉具的整体设计中起着重要的作用.THERMCO 5204扩散炉及附件模型确保在整个晶圆制造过程中获得准确、一致和可重复的结果。它是寻求可靠、高效和经济高效解决方桉的半导体制造商和研究实验室的理想选择。