二手 SVG / THERMCO / AVIZA 5204 #9226092 待售

SVG / THERMCO / AVIZA 5204
ID: 9226092
晶圆大小: 6"
Horizontal furnaces, 6".
SVG/THERMCO/AVIZA 5204是一种扩散炉及配件设备,设计用于优化材料沉积到各种工业中使用的晶片和基板上。这个先进的系统有一个垂直安装的不锈钢石英管,里面装有在沉积过程中均匀温度分布的加热气体,以及一个可靠的机械压力控制单元和一个气体溷合设施。可选排气机旨在确保潜在污染物不会沉积在样品上或样品周围。水平安装的石英管有利于快速的加工时间和较低的底物温度。设计了一种集成的石英循环泵,将加热气体以极高的精度引导到基板上,并将热梯度降至最低。先进的腔室排气工具有助于通过安全地去除蒸气来降低气体浓度。气体溷合设施包括一个精密比例阀和一个带专用气体歧管的综合气泡装置,以提供沉积过程所需的清洁、受控气体气氛。敏感样品使用SVG 5204的位置晶片支架、提升手柄和可调节冷却气室安全处理。可以方便地调节样品支架的高度和角度,使样品加热尽可能完美。晶片持有者对样品提供最小压力,确保加热气体的均匀分布。可选的外部安装控制器包含一个微处理器,可确保正确、准确地执行进程。控制器的触摸屏显示允许直接操作模型的所有功能,从而为用户提供最大程度的过程控制。它还具有预设程序,以进一步简化流程并提高效率。总体而言,AVIZA 5204是一种高性能的扩散炉及配件设备,可以满足各行业的沉积需求。其精确的气体分配和温度控制有助于确保即使是最敏感的表面也能得到统一的结果,而控制器的易用性及其自动编程选项有助于提高效率和减少浪费。
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