二手 SVG / THERMCO / AVIZA Evolve #9226878 待售

SVG / THERMCO / AVIZA Evolve
ID: 9226878
晶圆大小: 12"
VF Low temperature SiN, 12".
SVG/THERMCO/AVIZA Evolve是一种先进的用于处理半导体材料的扩散炉及配件设备。它是适应现代半导体器件设计要求的研发和生产的首选工具。这一处理工具能够整合原地和异地工艺,以满足最新微芯片设计和工艺的挑战性要求。SVG Evolve系统为扩散、离子植入、氧化、氮化等过程提供创新解决方桉。AVIZA Evolve单元旨在实现一个集成的、直接的控制过程。它具有先进的配置文件控制器和用于过程控制的多区域功能。它还提供了高级工具,如图形驱动命令排序、高级端口协议控制以及针对可定制序列的特定于产品的命令协议。机器的智能电源还允许对加工材料进行精确控制。演进式扩散炉结构超紧凑,结构坚固,利用优良的绝缘和隔热,提供精确、可重复的结果,污染几率微乎其微。蒸发室和防护罩的设计都是为了最大限度地减少粒子产生,最大限度地减少污染的可能性。分析工具还通过快速、可靠的信号分析和气体传感能力提供准确的结果。此外,速度更快的涡轮扩散,加上具有命令排序和数据记录功能的高级、高度精确的处理控制,可以实现快速的流程周期。最先进的数字控制器和集成的过程控制器可通过扩展输出、命令序列和日志记录实现优化的过程控制,从而实现全面的数据分析。此外,THERMCO Evolve工具还提供了广泛的附件,如石英连接器、石英器、多端口分体式接头适配器和钟形罐系统,为半导体加工提供了一个多合一的解决方桉。此外,该资产与大多数标准热电偶类型和附件兼容,使其成为应用程序的通用选择。SVG/THERMCO/AVIZA Evolve扩散炉及配件是一种先进的解决方桉,旨在提供卓越的工艺控制、精度和准确性。凭借其紧凑的尺寸、先进的调谐、多种性能选项以及集成就绪的设计,该型号是最苛刻的半导体器件处理应用的理想选择。
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