二手 SVG / THERMCO / AVIZA RVP-300 Plus #293600509 待售

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ID: 293600509
优质的: 2007
Vertical diffusion furnace 2007 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300 Plus是专门为硅化、离子注入和类似金刚石的薄膜沉积工艺而设计的扩散炉及配件。该设备旨在提供最高精度和控制水平,同时提供最一致的结果。SVG RVP-300 Plus非常适合要求最高精度的应用,例如薄膜沉积,因为它在其80mm磁化器上具有极快的热倾斜率和优异的热均匀性。扩展传输区、双区能力和使用LPCVD和RPCVD气体的能力使该系统能够满足最苛刻的应用。该机配备了可编程的双区动力控制、实时温度控制以及手动或半自动模式下的操作能力。其他功能包括自动调谐、真空控制和1 μ的数据采集机,以获得精确的结果。AVIZA RVP-300PLUS还配备了双频加热工具和坚固的环环/无环石英熔炉。这允许根据应用程序进行连续流或批处理。最后,该资产的模块化设计允许将来扩大或重新配置炉子以提高容量和提高性能。总体而言,RVP-300PLUS是一个极好的扩散炉和附件组合模型,旨在提供最高精度和控制,同时在薄膜沉积、离子注入和其他苛刻的应用中提供一致的结果。THERMCO μ Plus凭借其双区域电源控制、1 RVP-300数据采集设备和坚固的石英crucible,确保满足最严格的要求并确保最高效率。
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