二手 SVG / THERMCO / AVIZA RVP-300 Plus #293600529 待售

SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300 Plus是为在半导体行业工作的人制造的先进扩散炉及配件。SVG RVP-300 Plus提供了整个SVG系列的最高性能能力,并为创建创新的集成电路设计提供了出色的平台。它提供了无与伦比的单发均匀性,专为满足特定工艺需求而设计。AVIZA RVP-300PLUS提供了可配置参数的全面列表,包括温度范围、气流和停留时间。炉温从环境加热至1000 °C，支撑的最大晶圆尺寸直径可达300 mm。它还带有一个创新的预热选项，以提高整个晶圆的均匀性。THERMCO RVP-300PLUS包括一个电位控制器和控制电子设备,最多支持4个输出。气源提供多达12种由氮气、氢气、氙气和氧气组成的气体。该炉可以接受一系列允许低压外延（LOEE）和先进的光学和钝化工艺的工艺气体。AVIZA RVP-300 Plus是一种经过优化以构建复杂集成电路的多面过程扩散炉,包括一系列高级功能。它配备了显示温度、压力等关键系统信息的智能接口。此界面允许自动执行诸如配方编辑和数据记录等任务。此外,SVG RVP-300PLUS通过其创新和高效的热管理系统提供了更好的正常运行时间。此外,THERMCO RVP-300 Plus还配备了精密的传感器和光学窗口,用于查看过程。一个红外照相机和带有热解石墨（PG）过滤器的瞄准镜可作为从炉子上可视化整个温度曲线的选项。该炉还配备了气体分析仪，安装后能够评估氧气、碳和气体的惰性杂质。SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300PLUS是一种用途广泛、功能强大的扩散炉,可在市场上使用,为客户提供无与伦比的可靠性、效率、安全性和性能。利用现有的最新技术，它提供了提高半导体器件性能和降低生产成本的能力。