二手 SVG / THERMCO / AVIZA RVP 300 #9097644 待售

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SVG / THERMCO / AVIZA RVP 300
已售出
ID: 9097644
Vertical diffusion furnace.
SVG/THERMCO/AVIZA RVP 300扩散炉及配件为各种工艺提供了工业强度的热解。该设备由炉子、额外气源、陶瓷隔离源和先进的温度控制组成。这种最先进的扩散系统为冶金、半导体和光电行业的多样化应用提供了优越的平台。SVG RVP 300炉配有高性能石英管。这种石英管可以加热到1200摄氏度的温度,这使得它适合众多的生产工艺。一个独特的陶瓷室,可通过滑动门进入,确保高效的传热,提供可靠和一致的结果。先进的温度控制保证了热处理环境的精确调节和监测。温度控制提供摄氏30至1200°的温度范围,精确度为摄氏1°。除了炉子外,AVIZA RVP 300单元包括几个通过集成气箱连接的强大气源弧。这个气箱提供了多种气源的选择,包括氮气,氢气,或氙气。这些源允许材料扩散到硅片中。陶瓷隔离源,这也包括在机器,允许材料的精确各向同性扩散。这是最重要的,因为它允许在单个晶圆内集成多层。RVP 300工具是一个高度可靠和高效的先进工业级热平台。它提供了一个范围的温度和精确度的多合一包。它配备了一系列先进的气源和陶瓷隔离源,提供了一系列的生产过程。对于业界领先的散热工艺,THERMCO RVP 300提供了出色的解决方桉。
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