二手 SVG / THERMCO / AVIZA RVP 9000 #293804381 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293804381
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Vertical LPCVD Furnace, 8"
Main frame
AC Transformer rack
Cable
Heater
Top core assy
Miscellaneous parts
MKS 600 Series TV Controller
MKS 628F 2 Torr C/M
Smoke detector
UPS
Cables
Gas panel (FC-7800CU):
Line / Gas / Flow rate
1 / N2 / 5 SLM
2 / He / 500 SCCM
3 / He / 500 SCCM
4 / BCL3 / He / 100 SCCM
5 / Multi / 4 -1000 SCCM
6 / GEH / 4 - 200 SCCM
7 / SiH / 4 - 200 SCCM
8 / SiH / 4 - 200 SCCM
9 / N2 / 2 SLM
10 / GEH / 4 - 200 SCCM 2 SLM
PC: EPROM
2001 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA RVP 9000是一种先进的扩散炉及相关配件，设计用于复合半导体材料和基材的精确掺杂和扩散。它是一种多功能工具，能够快速蚀刻和精确掺杂各种材料。SVG RVP 9000是我们的扩散炉系列中的最新产品,在单个设备中提供多种功能,使其成为复合半导体晶圆的高效、经济高效的解决方桉。设计了AVIZA RVP 9000扩散炉,提供高质量的性能和最大的灵活性.其核心特点是场可逆石墨加热元件，提供高精度、快速、精确的掺杂。其集成的气体控制模块允许高精度的气流控制，使底物具有多种掺杂水平的高精度掺杂。此外，RVP 9000具有可调节的温度控制，允许对温度轮廓进行精确的控制。扩散炉还采用石英管设计，确保扩散过程中气体的均匀流动。THERMCO RVP 9000还附带附加配件，包括全遥控功能，以及通过全彩液晶触摸屏显示器进行过程监控。可选的EPCP系统提供了更强健的控制体系结构，允许精确的掺杂控制和工艺参数的精确操作。此外，SVG/THERMCO/AVIZA RVP 9000可与用于精确气流控制的气体输送装置和用于优化气流的气体管理机器相结合。SVG RVP 9000是一种通用可靠的工具，非常适合各种需要精确喷出和掺杂的过程。该扩散炉可处理多种材料，提供准确、均匀的结果。内置控制工具强大且用户友好,使用户能够精确控制流程并管理流程参数。此外,借助可选附件,可以更有效地利用AVIZA RVP 9000来提高产量。
还没有评论