二手 SVG / THERMCO / AVIZA SVG 7000 #293747284 待售

SVG / THERMCO / AVIZA SVG 7000
ID: 293747284
晶圆大小: 6"
优质的: 2003
Diffusion furnace, 6" Laminar flow hood Compumotor robot ACE Panel Dual boat elevator Anti-static bar Element lift Torch controller CRT PCE Controller Boat type: Quartz, 6" and pedestal, 8" VCR Gasline interconnect SCHUMACHER Trans LC bubblier MFC: (2) N2 (30 SLM / 3 SLM) (2) O2 (20 SLM / 2 SLM) H2 (10 SLM) Wafer storage: Dual boat (8) Carriers 2003 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA SVG 7000是一种最先进的扩散炉设备,设计用于对具有杂质的半导体材料进行精确、均匀的掺杂,以改变其电性能。这款先进的炉配备了广泛的特性和配件,使其成为半导体行业大批量生产环境的理想解决方桉。SVG SVG 7000的核心是一个高温工艺室,能够达到高达1200摄氏度的温度。这允许掺杂原子有效扩散到半导体底物中,确保了受控和可重现的掺杂过程。腔室由优质石英材料制成,提供出色的热稳定性和对苛刻工艺条件的抗性。AVIZA SVG 7000配备了精密的气体输送系统,能够精确控制工艺室内的掺杂气氛。各种掺杂气体如砷、磷、硼可以以特定的流量和浓度引入炉中,以达到半导体材料中所需的掺杂剖面。这种对气流的精确控制确保了整个基板表面的均匀掺杂,从而产生一致的电性能。为了进一步提高SVG 7000的性能,该装置配备了先进的温度控制机制,允许在掺杂过程中精确调整炉温轮廓。这确保了半导体材料暴露在高效掺杂扩散所需的最佳热条件下,从而得到高度可预测和可靠的掺杂结果。除了其核心功能外,THERMCO SVG 7000还配备了一系列满足特定工艺要求的附件和可选功能。这些附件包括用于自动装载和卸载基板的晶圆处理机器人,以及用于实时数据采集和分析的高级过程监测和控制系统。该机还可以与外部软件和控制接口集成,以无缝集成到现有生产线中。SVG/THERMCO/AVIZA SVG 7000的设计考虑到安全性和可靠性,具有坚固的结构和高质量的组件,可确保长期的性能和正常运行时间。该工具易于操作和维护,具有用户友好的界面和诊断工具,可简化故障排除和维护任务。总体而言,SVG/THERMCO/AVIZA AVIZA 7000扩散炉资产是高通量半导体掺杂应用的前沿解决方桉。其先进的特性、精确的控制能力和多功能性使其成为寻求在生产环境中实现一致和可重现的掺杂结果的半导体制造商的理想选择。
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