二手 SVG / THERMCO / AVIZA SVG VTR 7000 #293747368 待售
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ID: 293747368
晶圆大小: 6"
优质的: 1998
Furnace, 6"-8"
Laminar flow hood
MFC: (2) N2, (2) SiH4, (2) PH3
Compumotor robot
ACE Panel
Dual boat elevator
Anti-static bar
Element lift
CRT PCE Controller
Boat type: Quartz, 6" and pedestal, 8"
VCR Gasline interconnect
Gases: N2, SiH4, PH3
Wafer storage:
Mon
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(6) Prod
1998 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA SVG VTR 7000是为半导体制造设施中晶圆的精确热处理而设计的高性能扩散炉。这种精密的工具是生产先进集成电路和其他半导体器件的关键部件,提供必要的热处理以达到特定的材料特性和器件特性。SVG SVG VTR 7000扩散炉具有强大的设计,满足了现代半导体制造工艺的苛刻要求。炉膛采用优质材料建造,导热性好,耐腐蚀,保证热分布均匀,运行时间长,性能可靠。对腔室设计进行了优化,使温度梯度最小化,并促进了向晶片的有效热传递,从而实现了一致的处理结果。AVIZA SVG VTR 7000扩散炉的关键特征之一是其精确的温度控制能力。炉子配有先进的加热元件和温度传感器,可以在整个热处理周期中进行精确稳定的温度控制。此控制级别对于在加工晶片中实现所需的扩散剖面和材料特性至关重要,从而确保高设备性能和可靠性。除了温度控制外,SVG VTR 7000还提供了一系列全面的过程控制和监控功能,以提高扩散过程的整体性能和效率。炉子配有一个精密的控制系统,可以对复杂的热剖面和根据特定设备要求量身定制的工艺配方进行编程。实时监控和反馈机制使操作员能够根据需要跟踪和调整流程参数,以优化性能和产量。THERMCO SVG VTR 7000扩散炉也是为方便操作和维护而设计的,其特点是方便晶片的高效装卸,以及方便清洁和维修。炉子配有安全联锁和警报器,确保操作员保护,防止操作时设备损坏。更换加热元件或校准温度传感器等维护任务可以快速轻松地执行,从而最大限度地减少停机时间,并最大限度地满足生产需要。SVG/THERMCO/AVIZA SVG VTR 7000扩散炉兼容半导体制造常用的各种晶圆尺寸和材料,使其成为各种工艺应用的通用工具。SVG SVG VTR 7000无论执行标准的掺杂剂扩散过程、退火处理或其他热处理步骤,都提供了满足现代半导体制造设施的严格要求所需的灵活性和性能。总体而言,SVG/THERMCO/AVIZA AVIZA VTR 7000扩散炉是一种最先进的工具,结合了先进的技术、精确的控制能力和可靠的性能来支持高质量的半导体器件的生产。AVIZA SVG VTR 7000具有强大的设计、先进的功能和多用途的操作,是寻求实现最佳工艺性能、设备质量和整体生产效率的半导体制造商的宝贵资产。
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