二手 SVG / THERMCO / AVIZA TMX 2604 #293655631 待售

SVG/THERMCO/AVIZA TMX 2604是一种用途广泛、功能强大的扩散炉及附件,旨在提供全方位的扩散粘合和晶圆制造工艺。它能够执行重载过程以及超高速热退火过程。SVG TMX 2604可以容纳最大300毫米的基材尺寸，使其适合多种应用。AVIZA TMX 2604具有集成的过程控制设备,具有高级编程功能。用户能够轻松创建与热过程相匹配的过程配方,从而实现精确高效的操作。THERMCO TMX 2604配备了压力、温度、真空、大气等多种工艺参数，在过程中都能轻松监控。此外,该炉的设计具有紧凑的占地面积,并包括一些可选功能,如密闭气体管、闭环冷却系统和光发射系统。TMX 2604使用带有石墨丝的扩散加热单元，达到高达1200 °C的温度。这使得它适用于450至1200°C范围内的多种热过程，如扩散键合、晶片键合、氧化、退火和烧结。它还配备了集成泵浦对流机，有助于实现均匀的过程。该炉采用自动安全功能，如紧急电子停止开关、可听紧急警报和紧急关闭功能。它还包括多个智能传感器和几个安全联锁；排气工具；以及自动限温功能,可在预定温度下自动停止加热过程。此外,SVG/THERMCO/AVIZA TMX 2604还设计了多种附件,以确保用户方便。其中包括加热室推车；冷却室推车；机械基板传递臂；机械转移臂；一个处理室适配器；滚子或机械臂；以及压力控制资产。该炉还具有易于维护的部件，如石墨炉和真空室密封件，其部件是为长寿和低维护而设计的。SVG TMX 2604提供了功能强大、用途广泛的扩散炉，具有广泛的熔炉配件，可用于各种应用。它提供了强大的过程控制模型、高效的加热设备以及多种安全功能，以确保高质量和可靠的过程。此外,AVIZA TMX 2604还设计了多种方便的配件和组件,使其成为各种制造工艺的理想选择。