二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 51 #186012 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 51是一种先进的可编程扩散炉，设计用于具有成本效益的可靠和有效的热扩散操作。该炉为扩散炉使用者提供了更强的过程控制和可重复性，涉及所有类型的半导体、微电子和相关过程。SVG VTR 51配备了一套独特的特性，在进行热扩散过程时提供了极大的灵活性、精度和重复性。炉子由炉房、加工室、散热器、绝缘热区、调节进气口和石英瓦床组成。该工艺室的设计保证了向目标材料的高效传热。其热区由大量传感器构成，用以调节温度和防止过热。调节的进气口确保安全和一致的加热，而石英砖确保整个样品的温度均匀。AVIZA VTR 51还配备了多种安全功能，以确保安全可靠的运行。它提供防护罩、高温报警器和过热防护。这确保了安全操作和有效的保护,风险最小。高级软件提供舞台编程和过程监控等高级功能。这样，用户就可以轻松地设置和监控过程参数，从而更好地处理扩散过程。VTR 51 has两个集成的加热元件,用于快速热处理,可容纳直径不超过十英寸的所有类型的基板。它还具有快速热循环功能,温度变化率高达5°C/分钟。对工艺室进行氮气净化，以保证氧气和水分含量低。它还有一个通用机架，最多可容纳四个样品进行均匀扩散处理。随附的VTR 51配件包括热电偶、燃气管线、管道、DI水线、网络摄像头和监视器。这些附加组件使用户能够根据自己的特定需求进一步定制和定制流程。总之，THERMCO VTR 51是一种先进的可编程扩散炉，具有精密的部件和创新的特点，具有良好的控制和可重复性。它配备了先进的软件、多个热源、一个氮气净化的工艺室以及随附的配件，以便进一步定制。这些特性使其成为寻求可靠高效扩散炉的人们的理想选择。