二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 51 #293593069 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 51扩散炉及配件是一种用于半导体制造应用的精密工具。它是一种高温炉，其标准加热系统能够达到高达1300 °C的温度。它有一个较长的工作区，允许灵活配置样品支架和150 mm的最大负载。此外，这种扩散炉具有出色的均匀加热性能，这要归功于它的两级设计。第一阶段保证了炉膛的均匀加热，而第二阶段则损害了工艺参数的精确控制。此外，它具有强大可靠的冷墙技术，可以防止运行容器壁，提高产品产量。业界专业人士可以通过直观的软件监控这种扩散炉。它提供了GUI控制的加热、冷却和温度稳定循环、实时温度显示和温度映射等多种功能。它还允许时间编程、温度升高和高精度分析。此软件监视、记录和调整各种参数,以达到最大精度。这种扩散炉为半导体制造带来许多优点。它设计用于晶圆扩散过程，如氧化、氮化和退火。此外，内置的平衡机构防止电弧和基板弯曲。高温限值可保护系统免受过程超调的影响,从而提高产品可靠性。SVG VTR 51扩散炉及配件是高温工艺的绝佳工具。具有无与伦比的均匀加热性能,采用固态技术进行严密的温度控制.利用直观的软件和内置的安全机制，这种扩散炉提供了一致可靠和准确的工艺结果。