二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #26403 待售

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000
ID: 26403
晶圆大小: 6" 8"
Vertical Furnace, TEOS, 6", can be configured to 8" capability Gas system is configurable as is early 1990s vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000是为升华、沉积、氧化、扩散、退火等多种高温应用而设计的扩散炉及附件封装。该套件包括一个多区石英管式烤箱,能够在高达1750°C的温度和高达100毫巴的压力下运行,以及用于控制高温室内环境的其他附件。SVG VTR 6000扩散炉采用多区、石英管式烤箱室和安全系统。炉膛内部由高氧化铝和熔融石英管构成,提供均匀的热性能,而随附的安全系统则确保了炉膛运行时的安全性和最大能效。这包括一个减压阀和一个开关,用于在发生故障时切断电源。该系统还配备了温度剖面程序,允许用户编程预置的加热参数,如温度、坡道速率和过程的保持时间。这允许用户执行复杂和可重复的热过程。除扩散炉外,AVIZA VTR 6000扩散炉及附件包还包括一系列附加配件,如气体和气体流量计、气体压力调节器、电阻温度计、继电器和传感器、大吸头、柔性减压波纹管、快速加热元件、用于远程通信的RS-232端口以及强大的独立S级控制显示器。随附的配件可以根据用户的个人需求量身定制,并提供更高的准确性和效率。VTR 6000扩散炉及配件封装的设计为工业用户提供了一系列的特点,使他们能够进行各种升华、沉积、氧化、扩散和退火过程。其特点和配件的结合提供了工艺参数的优化和可重复的结果,而其安全特点则保证了用户的安全和最大的能效。
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