二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #26404 待售
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ID: 26404
晶圆大小: 6" 8"
Vertical Furnaces, 6", can be configured to 8" capability
POCL3, Atmosphere, O2, N2, Phosphorous Oxychloride
as-is
early 1990s vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000是一款中端扩散炉及附件套件,用于精密温度控制和半导体加工应用。这种扩散炉的最高温度额定值高达1500 °C,使其适用于包括多晶硅、氮化硅、氮化铝在内的多种材料。SVG VTR 6000配备了精确的计算机控制和安全功能,允许精确的温度和过程管理。此外,该套件还包括涡轮泵和冷热气流插座,可用于其他用户定制。AVIZA VTR 6000扩散炉采用高等级陶瓷纤维绝缘材料和特殊合金制成,保证了在高性能应用中对极端温度和寿命的抵抗力。其内室尺寸包括9.5英寸直径和12英寸高,设计以适应更大的容量。单区设计以垂直对流热为特色,具有独立调节和可调节的高温风扇,在密闭空间内引导热量。高温加热元件位于高温室外,便于更快冷却和温度稳定。该软件包还包括一个直观的基于计算机的控制器,允许用户配置和微调可编程温度配置文件。它用作允许通信的接口,提供准确的温度和过程数据,可升级的配方,以及实时的设定点调整。PID(比例、积分和差分)温度轮廓控制系统可确保相对于给定设定点更高的精度和可重复性。VTR 6000具有内置的安全功能,可保护人员,如过热保护和冷却风扇。它包括多层次的控制和监控,以确保炉温读数保持在设定的极限内,加压涡轮泵配有空气滤清器以保证清洁运行。THERMCO VTR 6000的热效率设计允许更快的加热和冷却。这种最小化的热漂移提供了更高的精度和改进的过程稳定性。另外的配件,如送线器和陶瓷浴池,是单独提供。这种扩散炉和附件是一种可靠和经济价格的解决方桉,其广泛的加工应用,包括扩散,氧化,退火。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000可用于广泛的行业,包括实验室、半导体和光电制造。
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