二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #293597262 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000是为半导体器件的快速热处理（RTP）而设计的扩散炉。这种高效可靠的炉具有优异的温度均匀性和稳定性，非常适合广泛的半导体加工应用。SVG VTR 6000由真空密封不锈钢加工室、工艺气体歧管和背面冷却板式组件组成。腔室装有底装挤出机。挤出机是这种炉的一个独特的特点，它允许广泛的工艺配置和效率。AVIZA VTR 6000的气体输送设备包括一个气箱、一个壁挂式压力调节器和一个比例阀，提供精确控制的全程过程气体，可以输送到基板上。此外，该炉还配备了一个电子温度控制器，可提供快速加热和冷却周期，从而能够快速编程和更改配方，而不会中断过程。控制器还具有简单的图形用户界面。VTR 6000的背面冷却板式组件沿三个通道分配电源,以实现基板的垂直和水平温度均匀性。冷却板进一步提高了温度控制的均匀性和准确性，消除了温度过火或过火。THERMCO VTR 6000包含高级安全功能,例如自动关机系统,以防止过高的过程温度。这一特性特别重要，因为它可以防止基板过热和灾难性的基板故障，从而确保安全和高效的工作环境。此外，SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000还配备了空气过滤装置，以提供炉内的清洁空气循环，最大限度地降低污染风险。综上所述，SVG VTR 6000是为快速热处理应用而设计的极其可靠的扩散炉。它具有高效的气体输送机、具有用户友好的GUI的电子温度控制器、用于提高温度均匀性的背面冷却板式组件,以及包括自动关机和空气过滤资产在内的先进安全功能。凭借其卓越的性能、可靠性和安全特性,AVIZA VTR 6000是半导体处理应用的理想选择。