二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #293597263 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000是半导体工业中使用的扩散炉，将标准扩散炉的能力与先进的自动化和定制选项相结合。该炉可提供高达25瓦的功率、高达3600瓦的施加热量和高达1150 °C的温度。其高级控制器包含16个高级扩散和植入程序，使用户能够自定义自己的流程，以达到期望的效果。该室还配备了自动化的乙二醇冷却设备，确保在过程的每个步骤中均匀冷却。腔室由两个部分组成：基座和堆栈，这使得更精确的控制。基座以电子方式供电,显示实时温度和压力读数,以及用于温度和压力设置的数字读数。腔室还设有一个用于观察内部的石英视口，以及一个0-5伏输出连接到可编程逻辑控制器（PLC）。SVG VTR 6000配备了既包含挡板投掷器又包含冷凝器的扩散泵，允许精确控制腔室压力。这种先进的泵是为了减少环境噪音和振动，更精确地集中材料和更快的循环时间。泵也是可编程的，使用户能够定制材料通过腔室移动的速率，以达到所需的扩散水平。该炉还包括一个自动化的中央过程控制系统，其中包括监测温度、腔室压力和过程步骤的一系列计时器和报警器。这一单元的设计目的是确保食谱得到准确的遵循，并确保流程在规定的时间内完成。机器还可以防止任何可能导致腔室或其部件损坏的工艺条件。此外，中央过程控制工具通过监测腔室的氧气水平有助于提高安全性。除了令人印象深刻的一系列功能外,AVIZA VTR 6000还提供多种配件,以提高工作效率和便利性。其中包括支持自动化和手动晶片处理的载波晶片传输资产，以及用于装卸应用的径向炉轮毂和固定装置。该车型还拥有多种优质石英配件，包括窗帘、分级桶、准直器和专用石英衬里。最后,VTR 6000为涂层应用提供了一组额外的石墨和RP-CVD部件。总体而言,THERMCO VTR 6000是一种功能强大、可靠且用途广泛的扩散炉,为定制和提高生产率提供了巨大的机会。通过将一个标准的扩散炉与先进的自动化选项相结合，用户可以在保持安全和高效的同时达到所期望的效果。