二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #9168600 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000是一款先进的扩散炉及配件包装，旨在满足具有挑战性的严格要求。该设备采用单晶片或批处理技术,每小时可达到6000个晶片,从而实现更高的吞吐量和更低的成本。该系统提供了令人印象深刻的一系列特性和功能。SVG VTR 6000具有创新的加载晶圆堆叠旋转木马,每转最多可装载三个晶圆,显着提高了吞吐量。其化学站设计用于快速和精确的化学注入，而精确晶圆放置机制有助于确保晶圆的精确对准。整个腔室的精确温度控制对于扩散操作过程中均匀的非氧化大气特别有利。为了便于操作和增强安全性,AVIZA VTR 6000采用了高级故障监控和诊断功能。全彩色图形LCD触摸屏界面支持轻松操作并显示实时流程参数,而监控系统和可选压力传感器则提供全面的流程控制。该装置还提供可靠的机器监测和诊断能力，配备可选的光学发射光谱仪，用于检测腔室中存在的任何有害污染物。此外，集成电气基板分析仪（ESA）有助于监测扩散过程的进展。为了最大限度地方便用户，THERMCO VTR 6000设计为与机器人系统和晶圆负载锁定系统集成。它还具有直观的软件程序,可帮助用户快速配置食谱。此外,该工具还能够存储多达10,000个食谱,以便于检索。为了最大限度地提高正常运行时间,资产还配备了无电缆连接模型,可减少维护和维修所需的时间。总体而言,VTR 6000扩散炉及其附件为各种应用提供了经济高效且可靠的解决方桉。先进的设备设计、全面的系统监控诊断能力、直观的软件程序、无电缆维护单元，确保了可靠、经济高效的性能和优越的用户便利。