二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26396 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一种高性能扩散炉，设计用于半导体工业的研发实验室。SVG VTR 7000可提供可靠、精确的热过程,并具有低调的潜水加热器,可在整个过程室中传递干净的热量。AVIZA VTR 7000还具有精确的温度控制和均匀性,具有比传统扩散炉更好的均匀热控制。THERMCO VTR 7000也可以在高达3500 °C的温度下运行，并可用于沉积和蚀刻硅、砷化的、铝等材料。为了确保均匀的热控制，VTR 7000具有低矮的潜水加热器，包含在工艺室内。加热器使用先进的加热材料，可以达到50°C到1500°C之间的温度，具体取决于配置。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000还具有多种其他先进的加热部件，包括用于均匀热控制的陶瓷顶部、用于传热的陶瓷增强线圈和电动升压加热器。这提供了出色的热均匀性和整个工艺室精确的热控制。SVG VTR 7000除了提供精确的热控制外，还具有高性能真空能力。该设备可达到高达8 x 10-6 Torr的真空水平，并在高达10-4 Torr的腔室压力下运行，以达到足够的工作温度。AVIZA VTR 7000能够达到3500°C的温度范围,能够执行各种扩散过程,包括快速热处理（RTP）。THERMCO VTR 7000还具有先进的安全机制，确保用户在整个过程中的安全。这包括在异常温度超过、异常功率级别和其他安全条件下自动关闭设备功能。该系统还具有先进的诊断功能,可以监视设备状态,并识别故障,以防止进一步损坏工序室。除了提供可靠精确的热控制，VTR 7000还构建了提供高性能冷却能力。这是由双级冷却机实现的，该机提供高速、低压冷却液流量，用于同时冷却腔室外部和腔室内部。该工具还具有快速响应传热天花板，以快速平衡腔室温度和低温进料管线，以优化冷却液循环。总体而言，SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一个强大的扩散炉设计的精度和可靠性。SVG VTR 7000由一系列先进的组件和安全机制构成,能够在极端温度下运行,用于各种扩散过程。AVIZA VTR 7000拥有低调的潜水加热器、均匀的温度控制和高性能真空能力，是半导体行业研发实验室的绝佳选择。