二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26401 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一种扩散炉及配件，专为在广泛的温度范围内对半导体进行高温处理而设计。该设备采用先进设计、基于微控制器的控制，具有多个可编程设定点、坡道速率和熔炉参数，即使在高度动态的环境中也能确保精确的热过程。SVG VTR 7000支持广泛的过程，包括扩散、氧化、氮化、退火、离子植入和溅射沉积。AVIZA VTR 7000具有坚固的不锈钢机柜,配有隔热门。一个最高温度为1150 °C的腔室加热器被并入到单元中，连同水平杆式的冷壁设计，在整个真空室中提供了极好的温度均匀性。该系统采用先进的隔热隔热系统和先进的温度控制系统，以优化传热效率。该炉支持的晶圆尺寸可达200毫米，并采用有效的闭环PID控制算法来实现良好的过程控制和稳定性。其先进的控制模块提供了多个PID和开/关加热器控制，一个上下楼梯控制程序和一个回填程序，帮助保持炉在恒温。该炉有一个2模室风扇单元，以保持室内的温度分布均匀。VTR 7000上的排气机包括高效过滤器和洗涤器。THERMCO VTR 7000还配备了一个高温计和多个温度传感器，精确测量炉内温度以确保可重复结果。此外，该工具还设计了一个保护板，以尽量减少任何热击穿的影响。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000的板载电源监视器确保了操作员的安全和可靠性。SVG VTR 7000可以与各种旨在提高资产性能的附加配件结合使用。其中包括阳极氧化、冷却系统、专用控制系统、工艺室和许多其他选项。这些附件允许定制的解决方桉满足任何特定的流程要求。总体而言,SVAVIZA VTR 7000是一种自动化的高温扩散炉和附件模型,能够在广泛的温度范围内实现均匀和精确的扩散处理。它具有坚固的硬件、先进的温度控制和监控功能以及广泛的附件,使其成为半导体制造的绝佳选择。