二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26405 待售

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 26405
晶圆大小: 8"
Vertical Furnaces, Nitride, 8" w/ Carousel and Asyst, as-is.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一种扩散炉及附件设备,设计用于反应性和非反应性材料的高级沉积。它是一个完整的热处理系统,具有精确的热控制、精确的温度均匀性和快速的循环时间。SVG VTR 7000是一种高科技扩散炉,旨在提供卓越的扩散性能和改进的大气控制能力。AVIZA VTR 7000具有3.7千瓦管状燃气红外加热器和六个短长度的分线圈红外加热器,它们安装在两个4.1英寸厚的陶瓷纤维绝缘热壁之间,可以控制温度在1°F范围内的传播。此外,VTR 7000还配备了高级PID/fuzzy逻辑控制器,可为各种应用程序提供精确的温度设置、快速的响应时间和可重复的结果。THERMCO VTR 7000还装有一个水冷扩散室,配有压力敲击阀以监测真空水平。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000还包括几个附件,以方便使用并启用湿式化学等特殊工艺。附件包括用于快速加载晶片的锥形真空锁、二极管接触加热器、真空密封件、压力调节阀以及用于可靠沉积易碎材料的自动化材料处理装置。SVG VTR 7000是一款先进的热加工机,旨在提供卓越的质量和性能。该工具非常适合广泛的应用,包括半导体、光电和光电器件制造,以及陶瓷和玻璃制造。AVIZA VTR 7000还适用于热和机械应力控制测试、功能性膜的化学气相沉积(CVD)以及其他复杂研发等一系列定制应用。VTR 7000能够在高达2800°C的温度下执行扩散过程,并具有快速的温度斜坡速率和较短的周期时间。它还提供了广泛的保护功能,以确保安全和尽量减少发生事故的可能性。其中的安全功能包括过电流和过温保护、热耦合关闭、紧急加热关闭以及可视警报资产,以提醒您注意任何故障。THERMCO VTR 7000也是用户友好型的,并附有广泛的软件功能和程序,旨在优化生产过程。软件功能范围包括自动前端编程模型、实时监控、周期排序、多种产品配方和一系列预设命令。所有这些功能使SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000成为高效且用户友好的热处理设备。
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