二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #293811744 待售
网址复制成功!
ID: 293811744
晶圆大小: 8"
Low‑Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) vertical furnace, 8"
Dual cassette tree
Processes: Poly, Nitride, and combination.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一种扩散炉和附件套件,用于在一系列半导体材料中加工晶片。这种设备非常适合实现半导体的高质量、受控掺杂水平,因为它提供高温均匀性和热管理。SVG VTR 7000的扩散炉具有全封闭、水冷的设计,允许精确的温度控制和低热漂移。先进的数字温度控制器提供精确的温度设置和倾斜能力。AVIZA VTR 7000还利用多个热电偶探头在炉内提供均匀温度。VTR 7000包含几个附加组件,以提供完整的热管理系统。其中包括一个排气鼓风机歧管、门互锁单元和能源管理系统。排气鼓风机设计用于提取多余热量,从而实现更高效、更均匀的热管理。门锁工具可以用来限制进入炉子内部,从而确保人员安全,同时增加炉子的寿命。最后,能源管理资产有助于降低用电量,提高运行效率。THERMCO VTR 7000具有用于测量入射晶圆温度的红外高温计,以及用于目视监控的石英观察窗口。此外,SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000还为定制工作单元提供了多种选项,其中包括领先半导体制造商提供的兼容加载和卸载系统。这样可以轻松安装并提高流程效率。最后,SVG VTR 7000为半导体工业中的精密扩散炉工艺提供了所有必要的部件。其双区设计和红外高温计,结合先进的传感和控制元件,确保了半导体材料的精确和可重复的热管理。此外,各种兼容的装卸系统可以提高工艺效率。这使AVIZA VTR 7000成为那些希望在最高级别上实现精度和效率的用户的理想选择。
还没有评论