二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #293811745 待售
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ID: 293811745
晶圆大小: 8"
Low‑Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) vertical furnace, 8"
Dual cassette tree
Processes: Poly, Nitride, and combination.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是为广泛应用而设计的扩散炉及附件封装。SVG VTR 7000具有冷墙设计、高速装载能力,温度在800°C至1300°C之间。高效、易于使用的界面和自动化过程使这种设备成为掺杂剂扩散、低k介电沉积和桥接等应用的绝佳选择。AVIZA VTR 7000配备了高真空对流泵房,提供出色的过程控制和可重复性。扩散前体和掺杂剂可以通过气体管线注入室内,过程气体被燃烧到预设压力。凭借先进的温度和压力控制,THERMCO VTR 7000允许在掺杂过程中快速斜坡上升和冷却。高速双级密封机构允许晶片和元件的重复、高效的装卸。VTR 7000还具有全方位的附件,包括柔性隔热罩、用于温度控制和调节的双热电偶、掺杂剂供应端口、负载锁定系统、负载端口站、惰性气体注入系统和真空计。还包括一个沉积后烤箱,以及各种温度预设和石墨敏感器。所有这些特性共同创造出适合各种应用的可靠和可重复的掺杂过程。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是各种电子和半导体应用的扩散炉及配件的绝佳选择。它提供了可靠、准确和可重复的结果,这要归功于动态温度和压力控制以及高效的大气控制单元。广泛的配件范围允许用户调整机器以适应特定的需求,确保质量结果。如果您知道SVG VTR 7000旨在提供可靠的性能,而又不影响安全性或准确性,那么您就可以放心了。
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